下图为目前使用的静电容量式加速度传感器。在6.2mm×5mm的封装内，安装着探头和处理电路。探头为边长约2mm的方形，由固定电极和可动电极构成，在有加速度时可动电极移动，电极之间的间隙产生变化，并以此作为静电容量的变化，转换为电压。相反，如施加电压则电极移动，可进行故障诊断。
下图所示为日本电装公司至今为止的加速度传感器的发展。静电容量式之前为压阻式，原理是单侧支撑杆承受加速度时产生弯曲，并通过桥接电路检测位移。最初的压阻式传感器感应度不高，探头较大，且采用封入阻尼油的大型真空密封封装。之后，随着MEMS技术及电路技术的进步，逐渐朝着小型化发展，在7年内将投影面积缩小至之前的1/25。现在使用的传感器体积更小，且精度高。
加速度传感器的发展（压阻式） ▲
